图文展示

真空高温炉用钨、钼合金


・ヒーター、リフレクター（組立含む）

・トレイ、トレイ台＆支柱

・ネジ、固定治具




材料

適用製品

使用温度

Mo1


ヒーター

リフレクター

電極・固定具


<1200℃

MoLa-C1

<1400℃

MoLa-C2

<1600℃

AKS-Mo

<1800℃

TZM

支持部材

真空ホットプレス炉パンチ

<1400℃

MHC

<1600℃

WLa

ヒーター

リフレクター

電極・固定具

<2000℃

AKS-W

<2500℃


列表多图
サファイア結晶製造炉に用いられる、タングステン・モリブデン製のルツボ及び加熱部材を製造しています。 安定したサファイア製造に欠かせない、高温における低汚染、長寿命などの特性を有し、費用対効果が高い製品を作り、多くのお客様に提供して来ました。
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加熱源及び周辺部材

タングステン製ルツボ

モリブデン製ルツボ

ルツボカバー


タングステンヒーター

タングステン・モリブデン製

複合リフレクター

タングステン・モリブデン

サポートバー＆ルツボ台

シードロッド

その他のコンポーネント


スパッタリング用モリブデン&合金ターゲット
Mo ターゲット成膜特性例

製品

電力密度(W/cm2)

基板温度（℃）

成膜RateA·m/min）

比电阻2000AμΩcm）

Mo平板ターゲット

5.0

100.0

342.8

11.7









製造可能サイズ

厚度/直径

宽度（mm）

长度（mm）

G4.5-G11.5平板Mo＆Mo合金

6-40

100-2500

100-4000

円筒Moターゲット

120-170

/

3500




G8.5 平板マルチタイプ

200×2650×18t

G6 平板一体型（OLED用)

1800×2300×14t

G5 平板一体型

1430×1650×14t

G4.5平板一体型

1130×1200×12t