离子注入行业应用
离子注入作为微电子工艺中重要的掺杂技术,对材料的高温性能和耐化学侵蚀性能要求非常奥,因此,电离室主要部件均采用有钨、钼或者石墨材料。格美多年来一直对离子注入行业用钨钼材料进行生产研究,拥有稳定的生产工艺和丰富的经验,现已成为国内产量大,质量好,国际性价比高的钨钼板棒生产基地。


格美为您提供离子注入工艺所需的钨、钼及其合金材料



- 钨板

- 钨棒

- 钼板

- 钼棒

- TZM板

- TZM棒


                                



工艺流程

工艺流程

工序控制


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